2015년05월31일 2번
[기하광학 및 광학기기] NA 0.5인 무수차 원형개구 광학계가 파장 193nm의 빛으로 결상할 때, Strehl ratio가 0.8 이상인 defocus 범위는?
- ① -48.25 ~ +48.25nm
- ② -96.5 ~ +96.5nm
- ③ -196 ~ +196nm
- ④ -386 ~ +386nm
(정답률: 42%)
문제 해설
Strehl ratio는 광학계의 초점화 능력을 나타내는 지표이다. Strehl ratio가 0.8 이상이면 광학계의 초점화 능력이 좋다고 판단할 수 있다.
무수차 원형개구 광학계의 경우, defocus 범위는 다음과 같이 계산할 수 있다.
defocus 범위 = ±λ/2NA^2
여기서 λ는 파장, NA는 수차이다.
따라서,
defocus 범위 = ±193nm/2(0.5)^2 = ±386nm
즉, Strehl ratio가 0.8 이상인 defocus 범위는 "-386 ~ +386nm"이다.
무수차 원형개구 광학계의 경우, defocus 범위는 다음과 같이 계산할 수 있다.
defocus 범위 = ±λ/2NA^2
여기서 λ는 파장, NA는 수차이다.
따라서,
defocus 범위 = ±193nm/2(0.5)^2 = ±386nm
즉, Strehl ratio가 0.8 이상인 defocus 범위는 "-386 ~ +386nm"이다.