2016년05월08일 79번
[레이저 및 광전자] 광 리소그라피에서 초미세 형상의 노광에 가장 적합한 레이저는?
- ① He-Ne 레이저
- ② 구리 증기 레이저
- ③ Nd:YAG 레이저
- ④ ArF 엑시머 레이저
(정답률: 65%)
문제 해설
광 리소그라피에서 초미세 형상의 노광에 가장 적합한 레이저는 파장이 짧은 레이저이다. ArF 엑시머 레이저는 193nm의 파장을 가지므로, 다른 레이저에 비해 더 짧은 파장을 가지고 있어 초미세 형상의 노광에 가장 적합하다. 따라서 정답은 "ArF 엑시머 레이저"이다.